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IBIDEN Fine Graphite Material

PYROCARB

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概要

Pyrocarb是在等靜壓石墨基材表面以化學沉積的方法沉積一層緻密的碳素膜制成的材料。是保持原有等靜壓石墨材料諸多優點的同時附加了沉積碳素膜的高純度性以及氣密性特點的高性能碳素複合材料。

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特徵

碳素(C)膜

優異的耐熱性。

優異的耐熱衝擊性、在高熱(800℃)狀態下投入水中急速冷卻也不會產生膜的開裂、剝離。

優異的耐腐蝕性、在酸性和鹼性中浸泡也很穩定。

以高純度的碳氫氣體為原料,因此純度高。


氣體不滲透性

可防止Si等金屬的滲透

雜質氣體的吸附及排放少

優異的耐氧化性(O2)、耐矽化性(SiO)

無粉塵發生

可防止石墨顆粒的脫落

提高表面平滑性

降低使用時表面蒸發物的附著力

與以往石墨材料相比,表面反射率大

與以往石墨材料相比約為2倍反射率

膜的熱傳導率具有方向性

膜的垂直方向為以往的石墨材料的1 / 35~1 / 40的熱傳導率,水平方向為以往石墨材料的約3倍熱傳導率

Pyrocarb膜結構

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熱傳導率

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表面反射率

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純度

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