半導體單晶用產品(CZ,太陽能)

概要

揖斐電擁有PYROCARB、黏接、CPA塗層等特色技術，針對半導體單晶爐各部件，推薦相匹配的材料。

特徵

功能

具有優異的低排放氣體性、高純性、高耐久性等特性，特別有助於矽片製造工序中產品品質的提高。

技術資料