化合物半導體用產品(LED,動力裝置)

概要

對於矽半導體、化學物半導體、光纖等生產裝置的爐內部品，我們推薦使用SiC塗層專用的石墨材料。

特點

均一性

材料的面內均一性好，適用於要求均一溫度分佈的外延生長領域。

功能

可塗均質而難以剝離的塗層，而且良好的面內均一性，使高品質的晶圓生產成為可能。

技術資料

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