概要
IBIDEN SiC塗層產品是在石墨基材表面用化學氣相沉積技術(CVD法)塗上緻密的碳化矽膜的產品。
特點
可以使用於各種各樣的環境裡
SiC產品具有優異的耐熱性、可以使用於廣泛的溫度範圍裡。同時擁有優異的耐氧化性及耐腐蝕性,可以使用於酸性・腐蝕性氣體環境裡。
不會污染周圍環境
由於雜質氣體的吸附、排放少,耐磨損性高,因此石墨基材不容易產生顆粒,所以不會污染使用環境。
功能
使用了控制石墨原料粒子形狀的石墨基材、SiC產品均一性強、擁有抑制產品溫度特性差異的功能。
SiC產品規格
SiC產品材料物理特性
石墨基材與SiC塗層的密著性
揖斐電的SiC產品採用了獨特的前處理技術改善了SiC塗層與石墨基材的密著性。前處理可以提高大約1.3倍的密著性。