関連技術

概要

イビデンSiCコートは、黒鉛基材の表面に緻密な炭化珪素膜を化学気相蒸着法(CVD法)にて被膜した黒鉛製品です。

特徴

様々な環境下で使用が可能

SiCコートは耐熱性に優れ、広い温度範囲での使用が可能です。また、耐酸化性や耐腐食性にも優れているため、黒鉛単体では耐えられなかった酸素雰囲気・腐食ガス雰囲気においても使用が可能です。

使用環境を汚さない

不純物ガスの吸着・放出が少い上、耐摩耗性が高いため黒鉛基材からのパーティクルが発生しにくいため、使用される環境を汚しません。

機能

黒鉛原料の粒子形状を制御した黒鉛基材を使用しているため、SiCコート後の特性に均一性をもたせ、製品の温度特性バラツキを抑える機能を持たせております。

関連製品へのリンク

• 化合物半導体用（LED、パワーデバイス）

• 治具