イビデンでは、汎用材から高級材まで、産業界の多様なニーズに応えるグラファイトを提供しています。
IBIDEN Fine Graphite Material

製品紹介

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半導体単結晶引き上げ用(CZ,ソーラー)

概要

半導体単結晶引上げ用の各部材において、イビデンは特徴のある技術(パイロカーブ,接着)を保有しており、各部材に適した素材を提案いたします。

特徴

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機能

低放出ガス特性や高純度性、高耐久性など優れた特性を持ち、特にシリコンウェハーの製造工程において、品質の向上に貢献します。

関連技術へのリンク

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