イオン注入装置用
- 製品情報
- テクニカルデータ
概要
高硬度、高密度、高強度な素材であり、耐消耗(耐イオンビーム)、低パーティクル性に優れた性能を有しています。
特徴
低消耗性、低パーティクル性
イオンビームに対する耐消耗性及び低パーティクル性を有しており、イオン注入装置用部材として使用可能です。
高純度
不純物含有量は100ppm未満であり、さらに純化処理により5ppm未満まで対応することが可能です。
機能
低消耗性(耐イオンビーム)、低パーティクル性かつ高純度であることから、イオン注入装置用部材として使用することで、注入ウエハーの品質歩留り向上を実現します。
関連技術へのリンク
