離子注入裝置用產品

概要

高硬度、高密度、高強度的材料，擁有優異的耐消耗（耐離子光束）、低微粒性的性能。

特徵

低消耗性、低微粒性

擁有對離子光束的耐消耗性以及低微粒性，可用於離子注入裝置的部件。

高純度

雜質含有量為100ppm以下，通過純化處理可以滿足5ppm以下要求。

功能

因其低消耗性(耐離子光束)、低微粒性以及高純特點，適用於離子注入裝 置部件，可以提高注入晶片的成品率。

技術資料