HOME > Multilanguage > 化合物半导体用产品(LED,动力装置)
对于硅半导体、化学物半导体、光钎等生产装置的炉内部品,我们推荐使用SiC涂层专用的石墨材料。
材料的面内均一性好,适用于要求均一温度分布的外延生长领域。
可涂均质而难以剥离的涂层,而且良好的面内均一性,使高品质的晶圆生产成为可能。