IBIDEN provides fine graphite materials to meet the diverse needs of the industries.
IBIDEN Fine Graphite Material

化合物半导体用产品(LED,动力装置)

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概要

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对于硅半导体、化学物半导体、光钎等生产装置的炉内部品,我们推荐使用SiC涂层专用的石墨材料。

特征

均一性

材料的面内均一性好,适用于要求均一温度分布的外延生长领域。

功能

可涂均质而难以剥离的涂层,而且良好的面内均一性,使高品质的晶圆生产成为可能。

技术数据

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相关技术链接

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