개요
고경도, 고밀도, 고강도의 소재로, 내소모성이 뛰어나고 파티클발생이 적습니다.
특징
내소모성, 낮은 파티클발생
이온빔에 대한 내소모성이 뛰어나고 파티클발생이 적기 때문에,이온주입장치용 부재로서 사용가능합니다.
고순도
불순물함유량은 100ppm이하이며, 고순화처리를 통해 5ppm이하까지 대응할 수 있습니다.
기능
내소모성, 낮은 파티클발생, 고순도 특성을 통해, 이온주입장치용 부재로 사용 시 해당 웨이퍼의 품질향상을 실현시킵니다.
기술데이터시트
