IBIDEN provides fine graphite materials to meet the diverse needs of the industries.
IBIDEN Fine Graphite Material

화합물반도체(LED,파워디바이스)

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개요

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실리콘반도체, 화합물반도체, 광파이버 등의 제조장치의 내부부품으로 사용되는 SiC코팅전용소재를 제안드립니다.

특징

편차

소재의 편차가 작아, 균일한 온도분포가 요구되는 Si-Epi향으로 사용하기 적합합니다.

기능

균일한 재질과 뛰어난 밀착성을 가진 코팅으로 인해 면내(面内)의 편차가 작기 때문에,보다 품질이 우수한 웨이퍼제조가 가능합니다.

기술데이터시트

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관련기술 링크

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