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실리콘반도체, 화합물반도체, 광파이버 등의 제조장치의 내부부품으로 사용되는 SiC코팅전용소재를 제안드립니다.
소재의 편차가 작아, 균일한 온도분포가 요구되는 Si-Epi향으로 사용하기 적합합니다.
균일한 재질과 뛰어난 밀착성을 가진 코팅으로 인해 면내(面内)의 편차가 작기 때문에,보다 품질이 우수한 웨이퍼제조가 가능합니다.