반도체 단결정인상용(CZ, 태양광)

개요

이비덴은 특장점이 있는 기술(PYROCARB, 접착, CPA도장)을 바탕으로, 반도체 단결정인상용에 쓰이는 각각의 흑연부품에 적합한 소재를 제안드립니다.

특징

기능

낮은 가스방출, 고순도, 고내구성 등의 뛰어난 특성으로, 실리콘웨이퍼의 품질향상에 공헌합니다.

기술데이터시트

관련기술 링크